CVD反応分科会主催第２回講習会
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「CVDプロセス速度論の基礎と実際」
主 催 ： 公益社団法人 化学工学会 反応工学部会 CVD反応分科会
共 催 ： CVD研究会
日 時 ： 2013年1月21日（月）10:30 〜19:30
会 場 ： 東京大学山上会館大会議室
プログラム
10:00 受付開始
10:30〜11:15 CVDプロセス概論
東京大学・霜垣幸浩 氏
11:15〜12:00 CVD原料選択と供給技術の実際
気相成長・町田英明 氏
12:00〜13:00 昼休み
13:00〜14:30 CVD速度論の基礎
京都大学・河瀬元明 氏
14:30〜14:45 Coffee Break
14:45〜16:15 CVDプロセスモデリングと解析技術の基礎
東京大学・霜垣幸浩 氏
16:15〜16:30 Coffee Break
16:30〜17:15 シミュレーション技術を用いたエッチング速度解析の実際
アルバック・三浦豊 氏
17:15〜18:00 シミュレーションを活用した量産対応CVD装置開発の実際
東京エレクトロン・川上雅人 氏
18:00〜19:30 講師インタビュー（山上会館地下001号室）
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