CVD反応分科会主催第20回シンポジウム
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「データベースの構築と活用」
開催趣旨
CVDやエッチングの実験結果を解釈し，数値的な見積りやシミュレーションを行う際には，様々な数値データが必要となります。例えば，原子分子の物性値や輸送係数，反応速度定数や衝突断面積といったデータベースは，比較的揃っているものから推算も難しいものまで様々です。今回，プラズマプロセスや超臨界を含む熱流体のシミュレーションを行う上で必要となるデータベースにお詳しい講師をお招きし，現在どのようなデータベース・推算法が知られているのか，これからどのように活用すれば良いのかを考える機会を持ちたいと考えます。多数のご参加をお待ち申し上げます。
主 催 ： 公益社団法人 化学工学会 反応工学部会 CVD反応分科会
共 催 ： CVD研究会
協 賛 ： 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会，原子分子データ応用フォーラム
日 時 ： 2013年9月10日(火) 13:20〜18:10
（終了後，懇親会を開催します。）
会 場 ： 東京大学山上会館２階大会議室
（最寄駅：地下鉄丸の内線・本郷３丁目，千代田線・根津，南北線・東大前）
プログラム
12:50 参加受付開始
13:15 CVD反応分科会大会
13:20〜14:10 基調講演「原子・分子データベースのプラズマシミュレーションにおける活用」
真壁 利明 氏（慶應義塾大学）
14:10〜14:50 「プロセスプラズマの反応モデル構築」
康 松潤 氏（東京エレクトロン）
14:50〜15:05 休憩
15:05〜15:35 「meVからkeVの衝突エネルギー領域における電子・原子・分子衝突素過程の
実験的研究」
田沼 肇 氏（首都大学東京）
15:35〜16:05 「核融合研における原子分子数値データベース活動と、世界における
原子分子数値データベースの最近の動向」
村上 泉 氏（核融合科学研究所）
16:05〜16:20 休憩
16:20〜17:00 「超臨界二酸化炭素中における金属錯体の拡散係数の測定と相関」
船造 俊孝 氏（中央大学）
17:00〜17:40 「超臨界CO2中での金属錯体の溶解および熱分解の測定」
依田 智 氏（産業技術総合研究所）
17:40〜18:10 「気相系における平衡・輸送物性の推算」
下山 裕介 氏（東京工業大学）
18:10〜19:30 懇親会（山上会館001会議室）
会費一般：2,000円，学生：1,000円
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