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CVD反応分科会奨励賞

 2011年9月14〜16日に開催された(公)化学工学会第43回秋季大会シンポジウム「CVD・ドライプロセス ―構造・機能制御の反応工学―」(当分科会主催)にて発表された28件の講演から,優秀な発表をされた下記3名の若手研究者の方々に,CVD反応分科会奨励賞を授与することを決定致しました。本奨励賞の規約につきましては,こちらをご参照ください。

化学工学会反応工学部会CVD反応分科会
平成23年度 若手奨励賞・学生奨励賞

若手奨励賞
百瀬健(東京大学) 「超臨界Cu薄膜堆積プロセスの体系的理解に基づくウェハスケール反応器設計」

学生奨励賞
福島康之(東京大学) 「SiC-CVDプロセス反応機構のマルチスケール解析」

学生奨励賞
増田竜也(東京大学) 「金属薄膜触媒を用いた化学気相成長法によるグラフェンの合成」

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