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CVD反応分科会　研究会開催記録　　　講演者一覧

2011年
4月28日 第1回講演会「低級炭化水素からのカーボンCVD − 成膜前駆体と膜構造」
5月20日 第11回シンポジウム「ナノカーボン製造プロセスとエレクトロニクス応用」
6月10日 第12回シンポジウム「薄膜評価・分析の基礎と最先端」
8月18,19日 第53回CVD研究会（共催行事）
10月26日 第13回シンポジウム「CVDの実務的課題：基板とリアクタの清浄化技術」
12月6日 第1回講習会「CVD初級講座 プロセス・装置基礎解説とシミュレーションの応用〜」
12月12日 第54回CVD研究会（共催行事）
2012年
1月30日 第14回シンポジウム「不揮発性メモリの材料とプロセス技術」
4月18日 第2回講演会「III-V半導体ナノエピタキシャル構造を用いた高効率太陽電池とその成長技術」
5月25日 第15回シンポジウム「超臨界流体を利用した 材料・デバイス合成」
8月8日 第16回シンポジウム「薄膜成長における核発生機構と課題・話題」
8月30,31日 第55回CVD研究会（共催行事）
11月7日 第3回講演会「カーボンナノチューブのＣＶＤ合成の理解とカスタム化：１秒合成から連続合成まで」
11月21日 第17回シンポジウム「貴金属薄膜・微粒子の合成プロセス」
12月17日 第56回CVD研究会（共催行事）
2013年
1月21日 第2回講習会「CVDプロセス速度論の基礎と実際」
2月26日 第18回シンポジウム「各種透明導電膜の特徴と製膜技術」
5月29日 第19回シンポジウム「薄膜成長における構造形成と機能制御」
8月8,9日 第57回CVD研究会（共催行事）
9月6日 第20回シンポジウム「データベースの構築と活用」
11月19日 第21回シンポジウム「ALDプロセスの基礎と応用」
12月10日 第58回CVD研究会（共催行事）
2014年
1月29日 第22回シンポジウム「高機能保護膜の基礎と展開」
8月27,28日 第59回CVD研究会（共催行事）
12月18日 第60回CVD研究会（共催行事）
2015年
1月29日 第23回シンポジウム「窒化物半導体の成長技術とメカニズム理解（ノーベル賞受賞記念）」
6月23日 第4回講演会「デバイス微細化と製造装置の進化」
8月27,28日 第61回CVD研究会（共催行事）
12月1日 第24回シンポジウム「パワーデバイス」
12月8日 第62回CVD研究会（共催行事）
2016年
3月17日 第5回講演会「Si基板上厚膜GaN成長における歪み制御およびデバイス応用」
8月18,19日 第63回CVD研究会（共催行事）
12月15日 第64回CVD研究会（共催行事）
2017年
2月1日 第25回シンポジウム「原子層堆積／原子層エッチングの基礎と応用」
8月7,8日 第65回CVD研究会（共催行事）
11月27日 第26回シンポジウム「製膜プロセスシミュレーションの最前線：マルチフィジクスと非定常計算の活用」
12月11日 第66回CVD研究会（共催行事）
2018年
2月15日 第27回シンポジウム「クリーンなCVD/ALDを実現する技術の考え方と最新動向」
6月4日 第28回シンポジウム「アトミックレイヤープロセッシングの基礎と最新技術動向」
6月29日 第6回講演会「ドライプロセス，気相環境における微粒子の生成，処理，影響」
8月7,8日 第67回CVD研究会（共催行事）
10月31日 第3回講習会「CVD・ALDプロセスの基礎」
11月9日 第29回シンポジウム「流動層の基礎とCVD/ALDによる粉体材料の機能化」
12月11日 第68回CVD研究会（共催行事）
2019年
3月5日 第30回シンポジウム「熱電・圧電関係エネルギーハーベスティング技術の最新動向」
6月4日 第7回講演会「CVD装置の表面反応を知って操るには」
8月8,9日 第69回CVD研究会（共催行事）
12月10日 第70回CVD研究会（共催行事）
2020年
2月5日 第31回シンポジウム「二次元材料の最新動向」
10月27日 第71回CVD研究会（共催行事）
11月20日 第32回シンポジウム「選択製膜の基礎と応用」
12月14日 第4回講習会「CVD・ALDプロセスの基礎」
12月18日 第72回CVD研究会（共催行事）
2021年
3月4日 第73回CVD研究会（共催行事）
6月8日 第33回シンポジウム「粉体ALDと電池材料」
8月4日 第34回シンポジウム「選択成長にむけたALD/ALE技術」
8月6日 第74回CVD研究会（共催行事）
10月4日 第75回CVD研究会（共催行事）
11月12日 第32回プラズマエレクトロニクス講習会〜プラズマプロセスの基礎と先端応用技術〜（協賛行事）
12月7日 化学工学会エレクトロニクス部会 2021先端技術シンポジウム　次世代半導体の展望 〜原理と生産技術〜（協賛行事）
12月17日 第76回CVD研究会（共催行事）
2022年
1月18日 第8回講演会「次世代半導体デバイス向け配線材料の湿式・乾式製膜 〜ニッケルおよび MAX 化合物〜」
1月25日 第35回シンポジウム「ドライプロセスに対するプロセスインフォマティクス」
3月18日 化学工学会第87年会CVD・ドライプロセス（CVD反応分科会オーガナイズドセッション）
6月20日 第9回講演会「ドライプロセスへの超臨界CO2流体の応用」
7月1日 第36回シンポジウム「ワイドバンドギャップ新材料の開拓」
8月9〜10日 第77回CVD研究会（共催行事）
9月14日 化学工学会第53回秋季大会 部会横断型シンポジウム「CVD・ドライプロセス −構造・機能制御の反応工学−」
11月18日 第33回プラズマエレクトロニクス講習会〜プラズマプロセスの基礎と先端応用技術〜（協賛行事）
12月2日 第78回CVD研究会（共催行事）
12月9日 第5回講習会「CVD・ALDプロセスの基礎」
2023年
3月13日 第37回シンポジウム「CVDと薄膜の計算科学」
3月15日 化学工学会第88年会CVD・ドライプロセス（CVD反応分科会オーガナイズドセッション）
6月1日 第10回講演会「ALD原料の基礎」
6月19日 第38回シンポジウム「半導体産業におけるプロセス開発の最新動向」
8月9〜10日 第79回CVD研究会（共催行事）
9月11〜12日 化学工学会第54回秋季大会 部会横断型シンポジウム「CVD・ドライプロセス −構造・機能制御の反応工学−」
11月14日 第39回シンポジウム「二次元材料の合成と応用の最新動向と展望」
11月17日 第34回プラズマエレクトロニクス講習会　〜プラズマプロセスの基礎と先端応用技術〜（協賛行事）
12月15日 第80回CVD研究会（共催行事）
2024年
2月22日 大阪公立大学 協創研究センター 半導体超加工・集積化技術研究所 第４回半導体デバイスプロセス技術基礎講座2023【ナノインプリント技術の基礎と今後の技術動向】（協賛行事）
2月29日 大阪公立大学 協創研究センター 半導体超加工・集積化技術研究所 第５回半導体デバイスプロセス技術基礎講座2023【エポキシ系・ポリウレタン系接着剤に関する高分子物性と界面の物理化学の基礎】（協賛行事）
3月6日 大阪公立大学 協創研究センター 半導体超加工・集積化技術研究所 第６回半導体デバイスプロセス技術基礎講座2023【半導体パッケージ技術の基礎とチップレット集積化に向けた取り組みの現状と課題】（協賛行事）
3月26日 第40回シンポジウム「ドライプロセスによる微粒子の高機能化」
5月30日 第41回シンポジウム「AIによる最適プロセス設計」
8月28〜29日 第81回CVD研究会(浜松)（共催行事）

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