プラズマプロセスは、エレクトロニクス分野では先端デバイスの開発・製造を支える技術であるとともに医療やエネルギー・環境応用を始めとする幅広い分野でも欠くことのできない基盤技術となりつつあります。このような背景を踏まえ、本講習会では産業応用で必要とされるプラズマの基礎と診断技術について、最新の研究結果も交えて、プラズマ分野を代表する先生方からご講義頂くとともに、その応用プロセスとして、半導体メモリ製造のキーテクノロジである高アスペクト比エッチング技術、最先端の話題であるプロセスインフォマティクス、及び、先端3D集積向け接合技術について、各分野にて第一線でご活躍の先生方よりご講義を頂きます。初学者から先端の研究開発者まで幅広い皆様のご参加をお待ち申し上げます。