2012年9月19〜21日に開催された(公)化学工学会第44回秋季大会シンポジウム「CVD・ドライプロセス ―構造・機能制御の反応工学―」(当分科会主催)にて発表された29件の講演から,優秀な発表をされた下記3名の若手研究者の方々に,CVD反応分科会奨励賞を授与することを決定致しました。本奨励賞の規約につきましては,こちらをご参照ください。
化学工学会反応工学部会CVD反応分科会
平成24年度 若手奨励賞・学生奨励賞
若手奨励賞
清水秀治(東京大学・大陽日酸) 「ULSI-Cu配線用Co(W)バリヤ膜形成CVD/ALDプロセスの最適設計」
学生奨励賞
矢中美紀(東北大学) 「太陽電池用CIS薄膜作製におけるSe化プロセスの超臨界流体を用いた低温化」
学生奨励賞
小坂昌輝(東京大学) 「金属フリーグラフェンの基板上直接形成と構造制御」
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